真空鍍膜機(jī)各種鍍膜方式的工作原理
發(fā)布時(shí)間：2017-07-06
真空鍍膜機(jī)按鍍膜方式主要可分為：蒸發(fā)式鍍膜，磁控濺射鍍膜和離子鍍。
蒸發(fā)鍍膜工作原理是將膜材置于真空鍍膜室內(nèi)，通過蒸發(fā)源加熱使其蒸發(fā)，當(dāng)蒸發(fā)分子的平均自由程大于真空鍍膜室 的線性尺寸，蒸汽的原子和分子從蒸發(fā)源表面逸出后，很少受到其他分子或原子的沖擊與阻礙，可直接到達(dá)被鍍的基片表面，由于基片溫度較低，便凝結(jié)其上而成膜。
濺射鍍膜的形成是利用真空輝光放電，加速正離子使其轟擊靶材表面引起的濺射現(xiàn)象，使靶材表面放出的粒子沉積到基片上而形成薄膜。
多弧離子鍍?cè)硎抢谜婵栈」夥烹娪?jì)數(shù)用于蒸發(fā)源的技術(shù)，即在真空環(huán)境下引燃蒸發(fā)源（陰極），與陽極之間形成自持弧光放電，既從陰極弧光輝點(diǎn)放出陰極物質(zhì)的離子。由于電流局部的集中，產(chǎn)生的焦耳熱使陰極材料局部的爆發(fā)性地等離子化，在工作偏壓的作用下與反應(yīng)氣體化合，而沉積在工件表面是形成被鍍的膜層。
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